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アイアールシー株式会社 | ||||||
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有限会社アスカフォオールは2010年4月1日よりアイアールシー株式会社に社名を変更しました。
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ICPエッチング装置の付属品
| 名称 | メーカー | 型式 | シリアルNo. | |
|---|---|---|---|---|
| ドライポンプ | エドワーズ | EDWARDS | IQDP80 | J49690 |
| LLドライポンプ | アルカテル | ALCATEL | ACP20 | 046294504 |
| ターボポンプ | アルカテル | ALCATEL | ATH1300MT | 076312464 |
| サブライト用チラー | ラウダ | LAUDA | PK8CP | J347999 |
| RF電源 2kW | アドバンストエナジー | ADVANCED ENERGY | RF20S | Z03002 |
| RF電源 500W | アドバンストエナジー | ADVANCED ENERGY | RF5S | 186189 |
| DC電源 | アルカテル | ALCATEL | DC75 | |
| ロボット | GENMARK | 4P1000054 | ||
| ESC電源 | セムコ | SEMCO | HVS1500 | 015028M |
| ESC電源 | セムコ | SEMCO | HVS1500 | 002803 |
| 4"ESC | セムコ | SEMCO | RFS1 ACT200-100 | |
| マグネトロンゲージ | MKS | ZAMG210AA | 0013806827 | |
| パラトロンゲージ | MKS | Z627AB1MD15 | 000493904 | |
| マスフロー C4F8 | UFC8100 | A2362125303 | ||
| マスフロー SF6 | UFC180 | A0422004302 | ||
| マスフロー O2 | UFC180 | A0492002202 | ||
| マスフロー He | UFC7000 | |||
●蒸着機 日本真空（アルバック） EDX-14D 電子銃式 |
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| チャンバー：700ID*800Ｈ 電子銃：EGL-35M型 （10CC 3ケ、40CC １ケ） 格安販売、部品取りも相談可 |
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熱真空試験機 |
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真空中で、-70℃〜70℃の熱サイクル試験が可能
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