蒸着機 日本真空（アルバック） EDX-14D 電子銃式 |
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| チャンバー：700ID*800Ｈ 電子銃：EGL-35M型 （10CC 3ケ、40CC １ケ） 格安販売、部品取りも相談可 |
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蒸着機 日本真空（アルバック） EDX-14D 電子銃式 |
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| チャンバー：700ID*800Ｈ 電子銃：EGL-35M型 （10CC 3ケ、40CC １ケ） 格安販売、部品取りも相談可 |
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小型蒸着機 日立 HUS-5GB |
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パリレン成膜機 Para Tech Coating, Inc 売却済 |
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熱真空試験機 |
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真空中で、-70℃〜70℃の熱サイクル試験が可能 100万円
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| 有機EL蒸着装置（超高真空マルチチャンバー成膜装置） 売却済 | |
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| MBE装置（高温基板加熱）成膜チャンバ | |
| 到達真空度：TMPは行き10-11Torr（LN2使用） 排気ポンプ：磁気軸受1000 L/S セルポート：ICF152 x 3 ICF114 x 3 基板加熱： Max. 1300 ℃（回転時） 基板寸法：2インチ |
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| シンクロン BMC-1300CDI | 仕様書 図面 |
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アネルバ蒸着機 EVD-1701 |
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| アネルバ蒸着機 EVD-1701仕様書 EVD-1701全体写真 1988年製拡散ポンプ/4連電子銃 |
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| ＤＥＭ-４５１（1990年製） アネルバ製 基板ホルダー：Φ280mm 現仕様：Φ４インチ×３枚 （ステージ上面の板の刳り抜きをいろんな形の試料に合わせます） 排気系：油拡散ポンプ プロセスガス排気系：ＭＢＰ+ロータリーポンプ 搭載電源：５００ｗ-ＲＦ電源（１３．５６ＭＨｚ） ガス系：４系統（Ａｒ／Ｏ2／ＢＣｌ3／ＳＦ6） 研究所で使用されていたもので使用頻度の低いものです。 |
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ポリコールド （伯東） |
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| １）ＰＦＣ−１１００ |
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多層膜真空蒸着装置 昭和真空SGC-22WA |
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| １号機 年式：1986年 排気系：拡散ポンプ ポリコールド：無し 膜厚モニター：昭和ＡＰＥＸ 反射式 Φ29.8 ８点式 成膜完了自動ストップ可能（手動制御） ＩＥＢＧ−１０２ＵＢ−６Ｓ（電動坩堝回転） イオン銃は無し 光学製品向け仕様 |
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| ２号機 ※低真空計、高真空計に不調ならびに抵抗加熱の |
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