中古 蒸着機、中古ドライエッチング、中古真空装置、有機EL蒸着装置
パリレン成膜機　RIE　反応性イオンエッチング
CVD反応装置　プラズマCVD装置

プラズマCVD装置　アプライドマテリアル　P-5000　委託販売

CVD反応装置　神港精機　委託販売

ワーク：ガラス　フィルム

・平行平板型プラズマＣＶＤ装置
・ロードロック室と成膜室から構成の量産用装置
・高周波励起によるプラズマ中で各種反応ガスを分解→活性化して化学反応を起こさせることによって成膜
　
【特徴】
　１５μmのＳiＯ₂膜を形成：適正な電極間距離、反応ガスの均一供給、放電電極の適正化と加熱処理によって
　電子部品の多量生産装置として最適

ICPエッチング装置　SAMCO　RIE-101IPC　

蒸着装置 アルバック（ULVAC）　EX-650　

●蒸着機　日本真空（アルバック）　EDX-14D　電子銃式
チャンバー：700ID*800Ｈ　電子銃：EGL-35M型　（10CC　3ケ、40CC　１ケ） 　格安販売、部品取りも相談可

小型蒸着機　日立　HUS-5GB 売却済

パリレン成膜機　Para Tech Coating, Inc 売却済
熱真空試験機
真空中で、-70℃〜70℃の熱サイクル試験が可能
有機EL蒸着装置（超高真空マルチチャンバー成膜装置）　売却済
仕様書はこちらから
シンクロン　BMC-1300CDI	仕様書　図面
アネルバ蒸着機　EVD-1701
アネルバ蒸着機　EVD-1701仕様書　　EVD-1701全体写真　 1988年製拡散ポンプ/4連電子銃
ＤＥＭ-４５１（1990年製）　　アネルバ製 　基板ホルダー：Φ280mm 　現仕様：Φ４インチ×３枚 　　（ステージ上面の板の刳り抜きをいろんな形の試料に合わせます）　 　排気系：油拡散ポンプ 　プロセスガス排気系：ＭＢＰ+ロータリーポンプ 　搭載電源：５００ｗ-ＲＦ電源（１３．５６ＭＨｚ） 　ガス系：４系統（Ａｒ／Ｏ2／ＢＣｌ3／ＳＦ6） 　研究所で使用されていたもので使用頻度の低いものです。