中古 蒸着機、中古ドライエッチング、中古真空装置、有機EL蒸着装置
パリレン成膜機 RIE 
反応性イオンエッチング
CVD反応装置 プラズマCVD装置

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プラズマCVD装置 アプライドマテリアル P-5000 委託販売

  

CVD反応装置 神港精機 委託販売

ワーク:ガラス フィルム

・平行平板型プラズマCVD装置
・ロードロック室と成膜室から構成の量産用装置
・高周波励起によるプラズマ中で各種反応ガスを分解→活性化して化学反応を起こさせることによって成膜
 
【特徴】
 15μmのSiO2膜を形成:適正な電極間距離、反応ガスの均一供給、放電電極の適正化と加熱処理によって
 電子部品の多量生産装置として最適

  

ICPエッチング装置 SAMCO RIE-101IPC 

  

蒸着装置 アルバック(ULVAC) EX-650 

  

●蒸着機 日本真空(アルバック) EDX-14D 電子銃式

 チャンバー:700ID*800H 電子銃:EGL-35M型 (10CC 3ケ、40CC 1ケ)
 格安販売、部品取りも相談可


小型蒸着機 日立 HUS-5GB 売却済


パリレン成膜機 Para Tech Coating, Inc 売却済

熱真空試験機

 真空中で、-70℃〜70℃の熱サイクル試験が可能   
有機EL蒸着装置(超高真空マルチチャンバー成膜装置) 売却済
仕様書はこちらから 
 
シンクロン BMC-1300CDI 仕様書 図面

アネルバ蒸着機 EVD-1701

アネルバ蒸着機 EVD-1701仕様書  EVD-1701全体写真 
1988年製拡散ポンプ/4連電子銃 
 
 
DEM-451(1990年製)  アネルバ製
 基板ホルダー:Φ280mm
 現仕様:Φ4インチ×3枚
  (ステージ上面の板の刳り抜きをいろんな形の試料に合わせます) 
 排気系:油拡散ポンプ
 プロセスガス排気系:MBP+ロータリーポンプ
 搭載電源:500w-RF電源(13.56MHz)
 ガス系:4系統(Ar/O2/BCl3/SF6)
 研究所で使用されていたもので使用頻度の低いものです。