IRC　中古機販売

アライナー　キャノン　PLA-501
	【詳細（年式、仕様他）】----------------------------------------------------- 　オーバーホール、整備渡し
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	ヘリウムリークディテクター

露光装置　ウシオ電機（USHIO）　UX-4138SM

　UV光源：2kW高圧水銀灯（ihg線）
　基盤サイズ：5,6,8インチ
　マスクサイズ：6,7,9インチ
　最小解像力：7μmL/（φ8インチ）
　オートアライメント対応：アライメント精度±2μm
　照度均一性：±3.8％（φ8インチ）

マスクアライナー　ニコン（Nikon）　PLA-501F

マスクアライナー　ミカサ　M-2L型

アライナー　PLA-501

ジャンク品の為、部品取り用