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ステッパー　マスクアライナー　EB露光装置

　ステッパー
　型　式　：FPA-2500i2
　メーカー：CANON

　　1. Vintage 1994.03
　　2. Location in KOREA
　　3. S/N 403185
　　4. Console version VS 5.29A , OS Version 5.2A
　　5. Lens type UL32
　　6. N.A. 0.54 ･ Reduction 1/5
　　7. I-line wavelength (365nm)
　　8. Resolution 0.45um
　　9. Exposure Field 22.0 x 22.0 mm
　 10. 8ﾓ wafer (In-line) Flat wafer
　 11. 6ﾓ reticle (PPD, Library 14EA)
　 12. Alignment TTL OFF AXIS He-Ne, B2
　 13. Alignment accuracy M+3･・ｲ110nm
　 14. Mercury Lamp 1.5kw
　 15. Conversions
　　　- HP RGB Monitor(35741B) ｢ｺ LCD Monitor
　　- Harddisk SCASI Type ｢ｺ Flash Memory type
　　- External HDD ｢ｺ Desktop PC