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真空チャンバー　真空排気ユニット　真空バルブ　プラズマ加速器
真空アニール炉　小型排気装置　センサ封止装置

小型排気装置　センサ封止装置　アネルバ（ANELVA)

到達真空度　10-7Pa台
【付属品】　ばら売り可　複数台有
ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-303M（排気量：320L/s）
イオンポンプ　アネルバ　912-7125（20L/S）
ロータリーポンプ　アルカテル　M2015SD（排気量：250L/s）
電離真空計　アネルバ　M-922HG
ピラニーゲージ　アネルバ　MPG-11
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真空チャンバー

直径1000mm、胴長1000mm　小型チャンバー（前室）、ゲート弁付　　　　　　　　

プラズマ加速器