| 有限会社アスカフォオールは2010年4月1日よりアイアールシー株式会社に社名を変更しました |
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小型排気装置 センサ封止装置 アネルバ（ANELVA） |
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| 【詳細（年式、仕様他）】----------------------------------------------------- 到達真空度 10-7Pa台 【付属品】 ばら売り可 複数台有 ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-303M（排気量：320L/s） イオンポンプ アネルバ 912-7125（20L/S） ロータリーポンプ アルカテル M2015SD（排気量：250L/s） 電離真空計 アネルバ M-922HG ピラニーゲージ アネルバ MPG-11 仕様・図面詳細はこちらをクリック |
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真空コンポーネント |
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真空チャンバー |
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| 【詳細（年式、仕様他）】----------------------------------------------------- 直径1000mm 胴長1000mm 小型チャンバー（前室）ゲート弁付 |
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真空コンポーネント |
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プラズマ加速器 |
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| 【詳細（年式、仕様他）】----------------------------------------------------- |
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真空コンポーネント |
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